세계 최대 노광장비 업체 ASML이 중국에 핵심 장비 수출을 하지 않기로 했다는 보도가 나왔다. 중국과 패권경쟁을 벌이고 있는 미국 정부가 자국의 핵심 부품이 조금이라도 들어간 제품의 수출을 제한하는 조치에 네덜란드가 발을 맞춘 것이다.

29일(현지시간) 로이터통신에 따르면 네덜란드 정부는 30일 ASML의 두 번째로 우수한 제품 라인인 심자외선(DUV·deep-ultraviolet) 노광장비의 수출을 금지하는 내용을 발표할 예정이다. ASML이 독점하고 있는 최첨단 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비는 2019년부터 중국으로 수출되지 않고 있다.

익명의 소식통은 로이터에 “정부의 새로운 규정은 즉시 시행되지는 않을 것이며, 시행일은 발표 후 두 달 뒤인 9월이 될 것으로 예상하고 있다”고 밝혔다. 소식통에 따르면 이는 6월말의 정보를 기준으로 말을 한 것이며 미국 상무부는 7월에 10월에 있을 전면적인 수출 제한 규정을 내놓을 것으로 예상된다.

7월 말에 발표될 예정인 ‘미국에서 생산한 부품이 들어간 제품을 수출하기 위해서는 라이센스를 취득해야 한다’는 미국 정부의 새 규정은 ASML에 적용될 것으로 예상된다. ASML의 DUV에는 미국의 부품이 포함되어 있다.

예를 들어, 트윈스캔 NXT:2000i, NXT:1980Di 등 구형 DUV 모델도 약 중국 최대 반도체 제조업체인 SMIC가 운영하는 팹을 포함해 약 6개의 중국 반도체 업체는 DUV 장비를 사용할 수 없게 될 것으로 예상된다.

ASML은 2019년부터 해당 제품을 중국에 수출할 때마다 네덜란드 정부의 허가를 받아야 했는데, 이제는 정부가 중국 수출에 한해서는 허가를 내주지 않겠다는 것이다.

네덜란드 정부는 미국과 협력해 군사적으로 이중 사용될 가능성이 있는 일부 반도체 장비의 수출을 제한하고 있다.

EUV는 7㎚(1㎚=10억분의 1m) 이하 초미세 공정에 필수적인 장비로, ASML이 세계에서 유일하게 생산하고 있다. ASML은 EUV보다 구형 모델인 DUV 장비만 중국에 수출하고 있었지만 이마저도 일부 제한될 전망이다.

미국은 지난해 10월 국가 안보를 이유로 ‘램리서치’(Lam Research), ‘어플라이드 머티어리얼즈’(Applied Materials) 등이 중국에 미국산 반도체 제조 장비 수출을 금지하고, 다른 나라의 주요 반도체 설비 제조사에도 로비를 벌였다.

미국 워싱턴 주재 중국 대사관 류펑위 대변인은 이러한 조치를 비난하며 “미국이 고의적으로 중국 기업을 봉쇄하고 발목을 잡았으며 산업을 강제로 이전하고 디커플링을 추진했다”며 “중국은 상황을 면밀히 주시하고 우리의 이익을 확고히 보호할 것”이라고 밝혔다.

일본 반도체 장비 제조사인 ‘니콘’과 ‘도쿄 일렉트론’ 등은 다음달 23일부터 반도체 제조 장비 23종의 수출을 금지하기로 했다.